|
|||||
|
|
| 256MDRAM时代的离子注入机 | |
| 引用本文： | 村上隆志,高桥武人.256MDRAM时代的离子注入机[J].微细加工技术,1995(1):71-74. |
| 作者姓名： | 村上隆志 高桥武人 |
| 摘 要： | ２５６ＭＤＲＡＭ时代的离子注入机村上隆志，高桥武人，川崎洋司随着ＤＲＡＭ器件高密度的发展，对离子注入机提出了更高的要求，离子注入技术为适应这种需求也迅速发展起来。ＤＲＡＭ各个时期的设计尺寸、圆片尺寸、离子注入技术的发展过程如图１所示。近几年来，中束流... |
| 关 键 词： | 离子注入机 DRAM 平行束扫苗 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |