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| 采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布 | |
| 引用本文： | 王运来 宋世战. 采用弹性反冲分析法同时测量薄膜中氢和氘的深度分布[J]. 核技术, 1997, 20(10): 611-614 |
| 作者姓名： | 王运来 宋世战 |
| 作者单位： | [1]兰州军区总医院 [2]兰州大学原子核研究所 |
| 摘 要： | 给出由重叠反冲能谱计算氢和氘的浓度及深度分布的解谱技术，用４．５ＭｅＶ和４．２ＭｅＶ的α粒子作入射粒子得到两个反冲能谱。在考虑和不考虑能量展宽效应的情况下分析了钛膜中氢和氘的深度分布；发现考虑能量展宽效应的影响得到的氢和氘的深度分布是令人满意的。 |
| 关 键 词： | 弹性反冲分析 深度分布 深度分辨率 氢 氘 薄膜 |
Depth profiling of hydrogen and deuterium in films by ERDA |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Elastic recoil detection analysis Depth profiling Depth resolution |
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