| 退火温度对BaTiO3薄膜的结构和介电性能的影响 |
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| 引用本文： | 郑新芳,李俊峰.退火温度对BaTiO3薄膜的结构和介电性能的影响[J].化工时刊,2008,22(2). |
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| 作者姓名： | 郑新芳 李俊峰 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备Si(100)基片上的BaTiO3陶瓷薄膜,并用红外光谱(IR)、x射线衍射(XRD)、扫描探针(SPM)等技术分析了钛酸钡凝胶的热解过程,以及不同退火温度下薄膜的晶粒、晶相、表面形貌、介电性能等指标.实验结果表明:高温有利于钛酸钡由立方相向四方相的转化;温度升高到1023 K时,钛酸钡薄膜的表面形貌平整、均匀并具有良好的介电性能.
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| 关 键 词： | 钛酸钡薄膜 温度 溶胶-凝胶法 介电性 |
Effect of Anneal Temperature on Structure and Dielectric Property of BaTiO3 Thin Films |
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| Zheng Xinfang,Li Junfeng.Effect of Anneal Temperature on Structure and Dielectric Property of BaTiO3 Thin Films[J].Chemical Industry Times,2008,22(2). |
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| Authors: | Zheng Xinfang Li Junfeng |
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