真空电弧沉积多元膜复合靶成分离析效应的研究

用Ｔｉ／Ｍｏ，Ｔｉ／Ｗ和Ｔｉ／Ｍｅ（Ｍｅ为Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ合金）复合靶采用真空电弧技术沉积了多元膜，并对成分离析效应及组织和性能进行了研究。结果表明，工作弧电流和阴极镶嵌体的弧斑平均电流对成分离析效应影响程度较大，Ｔｉ／Ｍｅ复合靶存在一个无成分离析效应的平衡点，多元膜结构主要为组元原子固溶于Ｔｉ２Ｎ中的结构形式，并具有较高的显微硬度。