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| 真空度对阴极材料微结构影响的电子显微分析 | |
| 引用本文： | 张德政,包生祥,杜之波.真空度对阴极材料微结构影响的电子显微分析[J].真空,2009,46(6). |
| 作者姓名： | 张德政 包生祥 杜之波 |
| 作者单位： | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
| 摘 要： | 针对阴极失效影响因素中的真空度问题,利用扫描电子显微镜以及能谱仪作为研究手段,分析对比了未老炼以及在不同真空条件下老炼的阴极的微观结构以及成分差异,结果表明,真空度降低,阴极中发射物质将与空气中的水汽以及氧反应,导致微观结构发生变化,这对于行波管的封装可靠性提出了较高要求. |
| 关 键 词： | 阴极 微观结构 电子显微分析 真空度 |
Electronic microanalysis of effect of vacuum on microstructure of cathode materials |
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