| 基于倾斜A1N薄膜的体声波质量传感器的制备及性能分析 |
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| 引用本文： | 熊娟,顾豪爽,吴雯,杜鹏飞,胡明哲.基于倾斜A1N薄膜的体声波质量传感器的制备及性能分析[J].传感技术学报,2009,22(8). |
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| 作者姓名： | 熊娟 顾豪爽 吴雯 杜鹏飞 胡明哲 |
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| 作者单位： | 湖北大学物理学与电子技术学院,武汉,430062 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目资助，湖北省自然科学基金重点项目资助 |
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| 摘 要： | 提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的A1N薄膜的制备方法,探讨了倾斜A1N薄膜的生长机理.以3对交替沉积的Ti-MD金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜A1N薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数进行测试分析,得到传感器的中心频率为0.78GHz,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景.
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| 关 键 词： | 质量传感器 倾斜A1N薄膜 磁控溅射 剪切振动 |
Fabrication and Characteristic Analysis of Bulk Wave Mass Sensor Based on Inclined AIN Film |
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| XIONG Juan,GU Haoshuang,WU Wen,DU Pengfei,HU Mingzhe.Fabrication and Characteristic Analysis of Bulk Wave Mass Sensor Based on Inclined AIN Film[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(8). |
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| Authors: | XIONG Juan GU Haoshuang WU Wen DU Pengfei HU Mingzhe |
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