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| PEMSIP法沉积的TiN涂层对刀具切削性能的影响 | |
| 引用本文： | 王玉魁,王平,韩会民,王传恩,高路斯.PEMSIP法沉积的TiN涂层对刀具切削性能的影响[J].中国表面工程,1994(2). |
| 作者姓名： | 王玉魁 王平 韩会民 王传恩 高路斯 |
| 作者单位： | 大连理工大学材料工程系 |
| 摘 要： | 基片负偏压增加，使等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展；由Ti2N和TiN两相组成的涂层硬度最高，可达Hk2460。切削力测定表明，由Ti2N和TiN两相组成的刀具涂层使切削力略有下降。涂层能明显提高刀具耐用度。 |
| 关 键 词： | 等离子体增强 磁控溅射 TiN涂层 切削力 |
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