| 一种用于隔离放大器的微机械开关 |
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| 引用本文： | 徐爱东,郭贺军,吕苗,胡小东,邹学锋.一种用于隔离放大器的微机械开关[J].微纳电子技术,2002,39(11):29-35. |
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| 作者姓名： | 徐爱东 郭贺军 吕苗 胡小东 邹学锋 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所微米/纳米中心,河北,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的隔离放大电路,采用微机械开关实现“飞电容”结构。这种隔离放大电路具有许多优点:电路结构简单、尺寸小、成本低、隔离电压高、电磁兼容性能优良,很容易组成多通道隔离电路等;在30V驱动电压下测试,微机械开关的延时小于50μs,隔离电压大于110V。对设计、制造出的微机械开关隔离放大器进行了测试,证明该电路的精度优于2%。
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| 关 键 词： | 微机械 开关 隔离放大电路 |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)11-0029-07 |
| 修稿时间： | 2002年9月2日 |
A MEMS switch for isolation amplifier application |
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| XU Ai-dong,GUO He-jun,LU Miao,HU Xiao-dong,ZOU Xue-feng.A MEMS switch for isolation amplifier application[J].Micronanoelectronic Technology,2002,39(11):29-35. |
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| Authors: | XU Ai-dong GUO He-jun LU Miao HU Xiao-dong ZOU Xue-feng |
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| Abstract: | A novel isolation amplifier is presented in this paper,which uses MEMS switch to re-alize a"flying capacitor"structure.This isolation amplifier takes advantages of simple circuit structure,small dimension,low cost,high isolation voltage,excellent EMC performance,and is easy to make multi-channel isolation circuit.The performance of the MEMS switch is tested at30V pull-in voltage,50μs delay and110V breakdown voltage.At last,the isolation amplifier is designed,fabricated and tested and2%accuracy is demonstrated. |
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| Keywords: | MEMS switch isolation amplifier |
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