| 超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究 |
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| 引用本文： | 周佳,韩高荣.超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究[J].功能材料,2006,37(4):576-579. |
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| 作者姓名： | 周佳 韩高荣 |
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| 作者单位： | 浙江大学,材化学院材料系硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜.经X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌.测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在450～500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能,并且沿(002)晶面择优取向生长,薄膜具有优良的均匀性和致密性.同时,制备得到的薄膜在可见光区也表现出80%以上的高透过率.
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| 关 键 词： | ZnO 超声喷雾热解法 取向生长 XRD |
| 文章编号： | 1001-9731(2006)04-1139-04 |
| 收稿时间： | 2005-08-23 |
| 修稿时间： | 2005-10-25 |
Characteristics of ZnO films prepared by ultrasonic spray pyrolysis method |
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| ZHOU Jia,HAN Gao-rong.Characteristics of ZnO films prepared by ultrasonic spray pyrolysis method[J].Journal of Functional Materials,2006,37(4):576-579. |
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| Authors: | ZHOU Jia HAN Gao-rong |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Silicon Materials Science, Zhejiang University, Hangzhou 310027,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO ultrasonic spray pyrolysis(USP) preferential orientation XRD |
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