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| 纳米粉预处理的CVD金刚石薄膜成核与生长研究 | |
| 作者姓名： | 邵乐喜 谢二庆 贺德衍 陈光华 徐康 |
| 作者单位： | 兰州大学物理系;兰州 730000; 北京工业大学应用物理系 北京 100022; 中国科学院化学物理研究所, 兰州 730000 |
| 基金项目： | 国家教委优秀青年教师基金,国家自然科学基金!69676005 |
| 摘 要： | 研究了纳米金刚石粉预处理的光滑硅衬底上CVD金刚石薄膜的成核与生长．通过与研磨处理样品相比较,纳米金刚石的预处理极大地提高了成核密度（可达109／cm2）、成核速度与成膜质量,并能方便地进行成核密度的控制,是一种经济实用、简单有效的预处理方法． |
| 关 键 词： | CVD金刚石 成核 衬底预处理 纳米金刚石粉 |
| 收稿时间： | 1998-01-20 |
| 修稿时间： | 1998-02-27 |
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