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| 扩展电阻技术在硅,硅基材料测试中的应用 | |
| 引用本文： | 吴晓虹,闵靖.扩展电阻技术在硅,硅基材料测试中的应用[J].半导体杂志,2000,25(1):10-13. |
| 作者姓名： | 吴晓虹 闵靖 |
| 作者单位： | 上海市计量测试技术研究院!上海200233 |
| 摘 要： | 本文利用扩展电阻技术对半导体硅、硅基材料进行测试分析 ,从而用以开发新材料和评估材料的质量。 |
| 关 键 词： | 硅 硅基材料 扩展电阻技术 测试 |
Application Study of Spreading Resistance Technique on Silicon and Silica base Material |
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| Authors: | WU Xiao hong \ \ \ MIN Jing |
| Abstract: | We use spreading Resistance technique to test and analyze silicon and silica base materials. This technique is more suitable to control material quality and develop new materials. |
| Keywords: | Silicon Silica base Material Silicon on Insulator Nanometer Silicon Porous Silicon Spreading Resistance Technique |
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