| Ir/HfO2复合涂层的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 王献,魏燕,蔡宏中,汪星强,张贵学,胡昌义.Ir/HfO2复合涂层的制备及性能研究[J].贵金属,2023,44(1):1-6. |
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| 作者姓名： | 王献 魏燕 蔡宏中 汪星强 张贵学 胡昌义 |
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| 作者单位： | 昆明贵金属研究所 稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106 |
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| 基金项目： | 云南省创新引导与科技型企业培育计划(202104AR040017)；云南省重点研发计划(202203ZA080001)；云南省重点研发计划(202203ZA080001) |
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| 摘 要： | 利用化学气相沉积(CVD)技术制备了HfO2涂层和Ir/HfO2复合涂层，采用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)对涂层的性能进行分析。结果表明:在沉积Ir时，沉积室升温速率≤10 ℃/min时，制备出的Ir/HfO2复合涂层经真空高温热处理后可获得表面质量良好的Ir层，且Ir层纯度达到99.77%；真空热处理有益于提高Ir/HfO2复合涂层之间的结合程度，且热处理温度越高，结合效果越好；表面制备有HfO2涂层的Ir棒在1980 ℃氧化10 h的条件下，HfO2涂层对Ir的保护效果显著，可将Ir的氧化深度由毫米级降至数十微米。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 Ir/HfO2复合涂层 氧化性能 |
| 收稿时间： | 2022/4/12 0:00:00 |
Preparation and properties of Ir/HfO2 composite coatings |
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| WANG Xian,WEI Yan,CAI Hongzhong,WANG Xingqiang,ZHANG Guixue,HU Changyi.Preparation and properties of Ir/HfO2 composite coatings[J].Precious Metals,2023,44(1):1-6. |
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| Authors: | WANG Xian WEI Yan CAI Hongzhong WANG Xingqiang ZHANG Guixue HU Changyi |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Advanced Technologies for Comprehensive Utilization of Platinum Metals,Kunming Institute of Precious Metals, Kunming 650106, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | chemical vapor deposition (CVD) Ir/HfO2 composite coating oxidation properties |
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