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| 掩模缺陷规范造成的器件成品率和可靠性问题 | |
| 摘 要： | 掩模缺陷规范造成的器件成品率和可靠性问题＝Ｄｅｖｉｃｅｙｉｅｌｄａｎｄｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｂｙ．ｓｐｅｃｉｆｉｃａ－ｔｉｏｎｏｆｍａｓｋｄｅｆｅｃｔｓ［刊，英］／Ｗｉｌｅｙ，Ｊ．Ｎ…／／ＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＴｅｃｈｎｏｌ．－１９９３．３６（７）．－... |
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