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| MEMS冷气推进器的制作及实验研究 | |
| 引用本文： | 唐飞,叶雄英,周兆英. MEMS冷气推进器的制作及实验研究[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 441-444 |
| 作者姓名： | 唐飞 叶雄英 周兆英 |
| 作者单位： | 清华大学精仪系,北京,100084 |
| 基金项目： | "973"项目"集成微光机电系统"(G1999033106)资助项目 |
| 摘 要： | 介绍了一种两层结构的MEMS冷气微推进器的设计和制作。并从不同的膨胀比和喉部尺寸的角度,对微推进器的推力和比冲性能进行了实验测量。实验结果表明,所制作的微推进器可以达到的最大推力在3．3～4．9mN之间,比冲在51．0～66．3s。 |
| 关 键 词： | MEMS 冷气推进器 结构设计 膨胀比 比冲性能 测试 卫星 姿态控制 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0441-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Fabrication and experiment of a MEMS based cold gas thruster |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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