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| 微机械传感器的现状与发展 | |
| 引用本文： | 朱长纯,韩建强,刘君华. 微机械传感器的现状与发展[J]. 电子元器件应用, 2003, 5(4): 8-11 |
| 作者姓名： | 朱长纯 韩建强 刘君华 |
| 作者单位： | 西安交通大学，陕西西安710049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目 |
| 摘 要： | 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理性能和发展方向。 |
| 关 键 词： | 微机械传感器 微机电系统 微谐根式传感器 发展现状 工作原理 |
Current Situation and Developmental Trend of Micromechanical Sensors |
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