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硅基薄膜发光材料
引用本文:鲍希茂,刘湘娜.硅基薄膜发光材料[J].薄膜科学与技术,1995,8(3):270-270.
作者姓名:鲍希茂  刘湘娜
摘    要:硅是微电子技术的基础材料,硅集成技术已高度发展,但硅却是非发光材料。为了发展硅基光电子技术,人们对硅基发光材料作了多方面的探索,其中有“缺陷工程”-在硅中引入作为辐射复合中心的杂技或缺陷,使之发光。“能带结构工程”-利用量子限制效应,利用具有不同能带结构的材料组合,获得硅基发光材料。“异质外延材料”-以硅为基底外延生长具有发光性能的材料。

关 键 词:硅基薄膜  发光材料  薄膜
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