| CVD法制备硅硼碳氮陶瓷的化学反应热力学研究 |
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| 引用本文： | 任海涛,刘家臣,郭安然.CVD法制备硅硼碳氮陶瓷的化学反应热力学研究[J].现代技术陶瓷,2016,37(4):290-295. |
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| 作者姓名： | 任海涛 刘家臣 郭安然 |
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| 作者单位： | 天津大学先进陶瓷加工技术教育部重点实验室;西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50572089,50642039) |
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| 摘 要： | 本文针对制备SiBCN陶瓷所用的SiCl_3CH_3–BCl_3–NH_3–H_2体系,基于已建立的热化学数据库,根据化学平衡原理,确定了不同工艺参数下各反应体系中一些重要产物的平衡产量分布,给出了相应体系的固相产物分布规律,为实验研究提供可靠的理论参考。
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| 关 键 词： | 硅硼碳氮陶瓷 CVD 热力学计算 |
Thermodynamic Investigation of the Chemical Reactions in the Chemical Vapor Deposition of the Si-B-C-N System |
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| REN Hai-Tao,LIU Jia-Chen and GUO An-Ran.Thermodynamic Investigation of the Chemical Reactions in the Chemical Vapor Deposition of the Si-B-C-N System[J].Advanced Ceramics,2016,37(4):290-295. |
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| Authors: | REN Hai-Tao LIU Jia-Chen and GUO An-Ran |
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| Affiliation: | REN Hai-Tao;LIU Jia-Chen;GUO An-Ran;Key Laboratory of Advanced Ceramics and Machining Technology of Ministry of Education,School of Materials Science and Engineering,Tianjin University;Science and Technology on Thermostructure Composite Materials Laboratory,School of Materials Science and Engineering,Northwestern Polytechnical University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SiBCN ceramic CVD Thermodynamic |
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