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| 电子束预辐射筛选抗辐射晶体管工艺的初步研究 | |
| 引用本文： | 林茂清,林锡刚.电子束预辐射筛选抗辐射晶体管工艺的初步研究[J].核技术,1997,20(10):625-630. |
| 作者姓名： | 林茂清 林锡刚 |
| 作者单位： | 四川联合大学原子核科学技术研究所 |
| 摘 要： | 介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作，研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量，束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力，为“预辐射损伤－辐射退火”筛选抗辐射晶体管工艺提供了一定的理论和实验依据。 |
| 关 键 词： | 晶体管 电子束 辐射损伤 退火 抗辐射工艺 |
A study on screening techniques of radiation-resistive transistors by electron beam pre-irradiation |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Transistor Electron beam Irradiation damage Annealing |
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