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| 用离子注入改善铍表面性能 | |
| 引用本文： | 邱成峰,杨治规,徐式如.用离子注入改善铍表面性能[J].真空科学与技术学报,1991(4). |
| 作者姓名： | 邱成峰 杨治规 徐式如 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系 (邱成峰，杨治规)，西安交通大学电子工程系(徐式如) |
| 摘 要： | 本文研究了离子注入对铍表面硬度及磨损性能的影响,用x射线分析了注入后的表面结构。结果表明,离子注入对铍表面的磨损性能有很大改善,硬度得到提高,耐磨层深度是注入离子射程的10倍。并讨论了离子注入改善表面磨损性能及硬度提高的机理。 |
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