| Smart Sensor与MEMS |
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| 引用本文： | 向勇,李玲霞.Smart Sensor与MEMS[J].半导体技术,2000,25(5):4-6. |
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| 作者姓名： | 向勇 李玲霞 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院!天津，300072 |
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| 摘 要： | 讨论了Ｓｍａｒｔ Ｓｅｎｓｏｒ与ＭＥＭＳ的全新概念。结合微机械加工技术的发展，概述了现代传感器技术智能化、功能集成化的新趋势，及其对现代微电子、微型电子机械乃至整个信息技术领域的深远影响。
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| 关 键 词： | 传感器 智能化 集成化 MEMS 微机械电子系统 |
Smart Sensor and MEMS |
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| Xiang Yong, Li Lingxia, Hu Ming, Xie Daohua.Smart Sensor and MEMS[J].Semiconductor Technology,2000,25(5):4-6. |
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| Authors: | Xiang Yong Li Lingxia Hu Ming Xie Daohua |
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| Abstract: | The new concepts of Smart Sensor and MEMS are discussed. With the development of micro-machining, this paper reviewed the trend of solid-state integrated smart sensor, and the influence to modern micro-electronics, micro electronic mechanical and information technology. |
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| Keywords: | Smart Sensor Intelligent Integration MEMS |
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