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TDR—80型单晶炉的研制

作者姓名：	李留臣耀飞黔

作者单位：	西安理工大学!西安710048

摘要：	介绍TDR—80 型单晶炉的设计思路及工作原理,并结合单晶炉的特殊工艺要求,分析了其主要结构及性能特点
关键词：	单晶炉结构直拉法磁流体密封隔离阀
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