| 基于MEMS技术的新型加速度计开发及其在故障诊断中的应用 |
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| 引用本文： | 杨健,贺世正.基于MEMS技术的新型加速度计开发及其在故障诊断中的应用[J].振动工程学报,2004,17(Z1):561-563. |
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| 作者姓名： | 杨健 贺世正 |
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| 作者单位： | 浙江大学材化学院化工机械研究所,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 2003年浙江省科技计划资助项目(编号:2003C31145) |
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| 摘 要： | 提出了开发一种新颖电容式MEMS微加速计的思路,使其具有较宽的量程和合适的频响范围,较高的测量精度,能满足汽轮发电机组、风机和离心机等旋转机械的故障诊断技术要求.针对提出的微结构理论模型,给出了基于ANSYS有限元计算模拟结果和优化设计方法.考虑低成本制造因素,给出了硅底材料刻蚀加工的基本工艺方案.探讨了在碟片式分离机智能化故障诊断中的一体化设计及应用.
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| 关 键 词： | 微机电系统 加速度计 故障诊断 |
| 修稿时间： | 2004年4月30日 |
Research on New MEMS Accelerometer and Applications in Mechanical Fault Diagnosis |
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| Yang Jian,He Shizheng.Research on New MEMS Accelerometer and Applications in Mechanical Fault Diagnosis[J].Journal of Vibration Engineering,2004,17(Z1):561-563. |
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| Authors: | Yang Jian He Shizheng |
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