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| 软X射线衍射色散元件 | |
| 引用本文： | 袁利祥,范正修,殷功杰,崔明启,沈孝良.软X射线衍射色散元件[J].量子电子学报,1994(2). |
| 作者姓名： | 袁利祥 范正修 殷功杰 崔明启 沈孝良 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所，中国科学院高能物理研究所，复旦大学分析测试中心 |
| 摘 要： | 软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软ｘ... |
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