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钇钡铜氧半导体薄膜的宽光谱响应特性
作者姓名:万春明  刘向东  孙强  李艳红  刘景和  李建立  李国栋  黄宗坦  黄承彩  李丹  黄江平
作者单位:[1]长春光学精密机械学院,长春130022 [2]昆明物理所,昆明650023
基金项目:中国兵器工业总公司资助项目;;
摘    要:对以 Si为衬底的钇钡铜氧 (分子式 :Y1 Ba2 Cu3O7-δ δ≥ 0 .5 ,简称 :YBCO)半导体薄膜的宽光谱响应特性进行了研究 .采用该薄膜作灵敏元的单元测辐射热计分别对红外波段 (1— 15μm)、亚毫米波段 (5个波长 )及毫米波 (3m m )进行光谱响应测试 ,结果表明这种半导体探测器不仅在红外波段 ,而且在亚毫米波甚至毫米波段都有良好的响应特性 .该薄膜是继 VO2 薄膜之后用于非制冷红外焦平面的一种新材料

关 键 词:钇钡铜氧半导体薄膜   测辐射热计   宽光谱响应
文章编号:0253-4177(2001)11-1387-05
修稿时间:2001-01-26
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