在5m^3聚合釜中试生产稀土异戊光刻原胶 |
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引用本文: | 徐其芬.在5m^3聚合釜中试生产稀土异戊光刻原胶[J].吉化科技,1996,4(1):26-28. |
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作者姓名: | 徐其芬 |
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摘 要: | 采用5m^3聚合釜进行稀土催化系合成异戊光刻原胶的试生产。试生产结果验证了中试成果。双螺带锚式搅拌器结构的聚合釜适用于稀土异戊光刻原胶的工业化生产。借聚合反应热可提高聚合反应温度,这样既降低能耗又缩短了聚合反应时间,并提高聚合釜生产能力。聚合釜的容积比中试聚合放大9倍,无明显的放在效应,且可使聚合反应操作更富于弹性。工业试生产的光刻原胶质量符合部合同要求。
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关 键 词: | 集成电路 聚合釜 光刻胶 异戊二烯 |
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