(100)n-GaAs在H_2SO_4-H_2O_2-H_2O溶液中的腐蚀速度 |
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引用本文: | 徐菊香,杨英 ,刘成林,黎宝良.(100)n-GaAs在H_2SO_4-H_2O_2-H_2O溶液中的腐蚀速度[J].稀有金属,1995(3). |
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作者姓名: | 徐菊香 杨英 刘成林 黎宝良 |
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作者单位: | 北京有色金属研究总院 |
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摘 要: | 以C-V测量、击穿电压测量并结合逐层腐蚀技术,对GaAs外延多层结构的剖面分布进行了测量,获得了GaAs(100)晶片在不同温度下的H_2SO_4-H_2O溶液中的腐蚀速度数据。结果表明,当H_2SO_4:H_2O_2:H_2O=9:1:1时,对n=1.10 ̄(14)~1.10 ̄(18)cm ̄-3的GaAs(100)晶片,20℃时的腐蚀速度为v=0.3~0.9μm/min.作者认为,这一配方对GaAs(100)多层结构是一个最为理想的减薄腐蚀剂。
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关 键 词: | 砷化镓,腐蚀速度,H_2SO_4-H_2O_2-H_2O三元系,掺杂浓度影响 |
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