| 程控无油超高真空排气台的研制 |
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| 引用本文： | 米伦,李晓勇,王远,李建.程控无油超高真空排气台的研制[J].真空与低温,2005,11(3):170-174. |
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| 作者姓名： | 米伦 李晓勇 王远 李建 |
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| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
2. 北京利方达真空技术有限责任公司,北京,100029 |
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| 摘 要： | 由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求
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| 关 键 词： | 无油超高真空系统 真空度 程控工艺 |
| 文章编号： | 1006-7086(2005)03-0170-05 |
| 修稿时间： | 2005年1月6日 |
THE RESEARCH ON OIL FREE PROGRAMMED CONTROL EQUIPMENT FOR EXHAUSTING HIGH VACUUM |
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| MI Lun,LI Xiao-yong,WANG Yuan,LI Jian.THE RESEARCH ON OIL FREE PROGRAMMED CONTROL EQUIPMENT FOR EXHAUSTING HIGH VACUUM[J].Vacuum and Cryogenics,2005,11(3):170-174. |
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| Authors: | MI Lun LI Xiao-yong WANG Yuan LI Jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | oil free high vacuum system vacuum degree programmed control |
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