| Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜(Ti,Cr)N性能的影响 |
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| 引用本文： | 史新伟,李春明,邱万起,刘正义.Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜(Ti,Cr)N性能的影响[J].中国有色金属学报,2006,16(7):1227-1232. |
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| 作者姓名： | 史新伟 李春明 邱万起 刘正义 |
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| 作者单位： | 1. 郑州大学,物理工程学院,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;华南理工大学,机械工程学院,广州,510641
2. 华南理工大学,机械工程学院,广州,510641 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金;广东省科技厅科技计划 |
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| 摘 要： | 通过改变Cr靶电流强度,在国产AIP 01型多弧离子镀膜机上制备不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合薄膜。研究Cr的添加对薄膜硬度、薄膜相结构及晶格常数等性能的影响,探讨薄膜的硬化机理。结果表明:Cr的加入可显著提高复合薄膜的硬度,显微硬度可高达HV2665;复合薄膜是以TiN为基的(Ti,Cr)N薄膜,薄膜中没有独立的CrN和Cr2N相,同时由于Cr的加入,薄膜的择优取向从(111)晶面逐渐过渡到(200)晶面,随Cr靶电流的增大,所得(Ti,Cr)N复合膜中出现单质Cr。
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| 关 键 词： | 离子镀 复合薄膜 硬度 相结构 |
| 文章编号： | 1004-0609（2006）07-1227-06 |
| 收稿时间： | 2006-01-06 |
| 修稿时间： | 2006-06-05 |
Effect of Cr element on (Ti, Cr)N composite films deposited by multi-arc ion plating |
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| SHI Xin-wei,LI Chun-ming,QIU Wang-qi,LIU Zheng-yi.Effect of Cr element on (Ti, Cr)N composite films deposited by multi-arc ion plating[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2006,16(7):1227-1232. |
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| Authors: | SHI Xin-wei LI Chun-ming QIU Wang-qi LIU Zheng-yi |
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| Affiliation: | 1. Key Laboratory of Material Physics, Ministry of Education, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China; 2. College of Mechanical Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510641, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiN (Ti Cr)N |
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