| 激光图形发生器调焦系统设计 |
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| 引用本文： | 梁宜勇,白剑,杨国光.激光图形发生器调焦系统设计[J].光电子．激光,2005,16(10):1202-1205. |
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| 作者姓名： | 梁宜勇 白剑 杨国光 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 为提高激光图形发生器的线条制作精度和制作效率，设计了新的调焦系统。调焦采用光学离轴探测原理，调焦辅助光源直接采用半导体激光器（LD）的准直椭圆光束，探测器为二象限光电池，离焦信号则采用除法构建。调焦系统具有过阻尼的二阶系统特征，新嵌入的PID控制器提升了系统的动态性能，并使系统闭环精度达0．2μm离焦量，同时能产生预期的基于不同离焦量的变线宽图形。
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| 关 键 词： | 激光图形发生器 光学调焦 离焦量 动态特性 |
| 文章编号： | 1005-0086（2005）10-1202-04 |
| 收稿时间： | 2004-09-23 |
| 修稿时间： | 2004-09-23 |
Design of Focusing System in Laser Pattern Generator |
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| LIANG Yi-yong,BAI Jian,YANG Guo-guang.Design of Focusing System in Laser Pattern Generator[J].Journal of Optoelectronics·laser,2005,16(10):1202-1205. |
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| Authors: | LIANG Yi-yong BAI Jian YANG Guo-guang |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Modern Optical Instruments, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser pattern generator optical focusing defocus amount dynamic characteristics |
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