| 转动竖直镜面的微机械光开关 |
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| 引用本文： | 杨艺榕,刘文平,王跃林,吴亚明.转动竖直镜面的微机械光开关[J].功能材料与器件学报,2004,10(1):54-58. |
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| 作者姓名： | 杨艺榕 刘文平 王跃林 吴亚明 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目(973)“集成微光机电系统研究”(No.G1999033104) |
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| 摘 要： | 提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB。
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| 关 键 词： | MEMS光开关 (110)硅各向异性腐蚀 深反应离子刻蚀 |
| 文章编号： | 1007-4252(2004)01-0054-05 |
| 修稿时间： | 2003年4月28日 |
Fiber optic switches based on MEMS vertical rotation mirror |
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| YANG Yi -rong,LIU Wen -ping,WANG Yue-lin,WU Ya -ming.Fiber optic switches based on MEMS vertical rotation mirror[J].Journal of Functional Materials and Devices,2004,10(1):54-58. |
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| Authors: | YANG Yi -rong LIU Wen -ping WANG Yue-lin WU Ya -ming |
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| Abstract: | A novel MEMS optical switch was designed and fabricated,which performs switching function by rotating vertical micro mirror.T he use of curve shape electrode reduces the pull -in voltage of canti -lever driver effectively.The combi nations of deep reactive ion etching technology and anisotropic etching of(110)silicon wafer make switch chips with aligning accessories.The device wa s tested to get electric and optical performances.The resul ts show that the driver' s pull -in voltage is 78.5V,resonance fre -quency is 2.3kHz,the device' s optical insertion loss is 5dB and crosstalk is 45dB. |
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| Keywords: | MEMS optical switch (110)silicon anisotropic etching DRIE |
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