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| 工艺参数对多弧离子镀TiAlN涂层铝含量和硬度的影响 | |
| 作者单位： | ;1.南京理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(3~4)正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合。结果表明:影响Al含量的因素按重要性排序依次是:腔体压强、氮气/氩气流量比、衬底负偏压、弧电流。影响涂层硬度的因素按重要性排序依次是:弧电流、氮气/氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压。 |
| 关 键 词： | 多弧离子镀 TiAlN涂层 正交分析 Al含量 硬度 |
Effects of Deposition Parameters on Aluminum Content and Hardness of TiAlN Coatings by Multi-arc Ion Plating Technique |
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