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| 多晶硅铸锭炉加热器功率分配对晶体品质的影响 | |
| 作者单位： | ;1.英利能源有限公司;2.晶科能源有限公司;3.南昌大学材料学院 |
| 摘 要： | 通过计算机仿真模拟方法针对不同的顶侧加热器电阻比值进行建模,研究其对晶体生长过程的影响,结合生产实验来确定最佳电阻比值,与优化过的铸锭工艺进行搭配,最终获得了稳定的较平微凸的固液界面,在长晶过程中能够很好地抑制坩埚侧壁形核,得到垂直的柱状晶结构,并有利于维持优势晶向和随机晶界的比例。此外,本项目通过对顶侧加热器电阻比值的调整,改善了熔体流动模式,有利于杂质向硅锭边部及外部输运,减少了杂质对多晶硅晶体品质的负面影响。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 热场 功率分配 晶体品质 |
Influence of Power Distribution for Multi-crystalline Silicon Casting Furnace on Crystal Quality |
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