外延技术在半导体激光器中的应用

本文概述了用于高功率半导体激光器材料制备和器件制作的三种常用的外延方法，液相外延（ＬＰＥ），金属有机物化学汽相淀积（ＭＯＣＶＤ）和分子束外延（ＭＢＥ），分析了各自的特点和局限性，介绍了我们在高功率半导体激光研究方面所取得的一些进展，并比较了国内外的水平差距。