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科技之窗
摘 要:
昭和电工加强发展特种气体业务日本昭和电工公司最近计划加强特种气体业务,主要是提供用于制备半导体和液晶显示器的产品。公司目前计划大量生产C4F6气体,作为新一代的蚀刻气体。目前原煤气是从俄罗斯制造的,再带入日本进行精制。昭和电工公司将增加产品销量,从10吨/年增加到20-30吨/年。
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