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版面质量和版面设计对电路成品率的影响
引用本文:赵丕鑫.版面质量和版面设计对电路成品率的影响[J].半导体技术,1978(3).
作者姓名:赵丕鑫
作者单位:四四三○厂
摘    要:对电路生产来说,不能单凭工艺手段来保证成品率和参数水平,我们认为光刻版的质量好坏、设计的合理与否也是左右这两方面的重要因素。一个版面设计合理图形完好的光刻版会大幅度地提高管芯成品率和高档电路比例。

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