| 四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究 |
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| 引用本文： | 冯焱,李得天,张涤新,张建军. 四极质谱计灵敏度与离子源参数关系的实验研究[J]. 真空科学与技术学报, 2003, 23(3): 203-207 |
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| 作者姓名： | 冯焱 李得天 张涤新 张建军 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 本文通过改变QMS4 2 2型四极质谱计离子源的发射电流、阴极电压和聚焦电压等参数值 ,测量了质谱计灵敏度的相应变化 ,给出并分析了实验结果。实验结果表明 ,对质谱计离子源参数进行调节 ,可以优化质谱计的灵敏度并使之达到最大值
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| 关 键 词： | 四极质谱计 离子源 灵敏度 |
| 文章编号： | 0253-9748(2003)03-0203-05 |
| 修稿时间： | 2002-09-08 |
Influence of Ion Source Parameters on Sensitivity of Quadrupole Mass Spectrometer |
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| Feng Yan ,Li Detian,Zhang Dixin,Zhang Jianjun. Influence of Ion Source Parameters on Sensitivity of Quadrupole Mass Spectrometer[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2003, 23(3): 203-207 |
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| Authors: | Feng Yan Li Detian Zhang Dixin Zhang Jianjun |
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| Affiliation: | Feng Yan *,Li Detian,Zhang Dixin,Zhang Jianjun |
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| Abstract: | Influence of various ion source parameters,such as its emission current,its cathode voltage,and its focus voltage,on the sensitivity of the quadrupole mass spectrometer(QMS),model QMS422,was experimentally studied.The results show that the QMS sensitivity can be optimized by appropriately balancing the ion source parameters. |
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| Keywords: | Quadrupole mass spectrometer Ion source Sensitivity |
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