上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究 |
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引用本文: | 郭春磊,孟祥雨,吴衍青,王勇,邰仁忠.上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究[J].核技术,2013(9):3-10. |
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作者姓名: | 郭春磊 孟祥雨 吴衍青 王勇 邰仁忠 |
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作者单位: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目(11005146和11275255)资助 |
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摘 要: | 同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高,使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高。对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估,可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展。本文利用部分相干光传播计算模型,数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播,理论和实验结果进行了比较,得到不同参数下的空间相干性,分析了误差产生原因。相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据。
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关 键 词: | X射线光学 空间相干性 波荡器 相干长度 |
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