等离子体技术在印制电路板制造中的应用 |
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引用本文: | 毛晓丽.等离子体技术在印制电路板制造中的应用[J].电子电路与贴装,2004(3):11-16. |
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作者姓名: | 毛晓丽 |
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摘 要: | 等离子体加工是在半导体制造中创立起来的一种技术。等离子体是指一种像紫色光、霓虹灯光一样的光,也被称为物质的第四相态。等离子体相态是由于原子中激化的电子和分子无序运动的状态,所以具有相当高的能量,其对于任何有机材料都具有很好的蚀刻作用,因此被应用到印制电路板的制造中来。
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关 键 词: | 印制电路板 半导体制造 蚀刻 等离子体技术 灯光 有机材料 状态 等离子体加工 相态 色光 |
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