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| WaferMasters推出表面光度测量系统OSP-300提供非破坏性晶圆表面表征 | |
| 摘 要： | 领先的晶圆处理技术及设备供应商WaferMas-ters Inc.近日宣布推出激光光学表面光度系统OSP-300。该系统可提供内嵌式非接触表面轮廓表征，用于各个工艺步骤问，该产品可用于研发和生产。 |
| 关 键 词： | 表面表征 测量系统 非破坏性 晶圆 光度 设备供应商 光学表面 表面轮廓 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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