SiC MOSFET单粒子漏电退化的影响因素 |
| |
引用本文: | 秦林生,汪波,马林东,万俊珺.SiC MOSFET单粒子漏电退化的影响因素[J].半导体技术,2023(11):972-976+984. |
| |
作者姓名: | 秦林生 汪波 马林东 万俊珺 |
| |
作者单位: | 上海精密计量测试研究所 |
| |
基金项目: | 上海市自然科学基金资助项目(20ZR1435700); |
| |
摘 要: | 高压功率器件是未来航天器进一步发展的关键,对SiC金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)等高压大功率器件的抗辐射研究亟待突破。在不同偏置条件下对器件的单粒子效应(SEE)进行实验,结果表明,SiC MOSFET单粒子漏电退化效应与漏源电压、离子注量以及反向栅源电压呈正相关。为进一步研究SiC MOSFET单粒子效应机理,结合实验数据进行TCAD仿真,发现器件发生单粒子效应时存在两种失效模式,第一种失效模式与Si基MOSFET类似,而第二种失效模式与SiC器件的特有结构密切相关,容易形成更高的分布电压,导致栅氧化层烧毁失效。该结果为抗辐照加固器件的研究提供了理论支撑。
|
关 键 词: | SiC金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET) 单粒子效应(SEE) 漏电退化 漏源电压 离子注量 |
|
|