基于LTCC的X波段四通道发射SiP模块 |
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引用本文: | 刘子奕,魏浩,杨文涛,韩威,赵建欣,郑书利,魏恒.基于LTCC的X波段四通道发射SiP模块[J].半导体技术,2023(5):414-420. |
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作者姓名: | 刘子奕 魏浩 杨文涛 韩威 赵建欣 郑书利 魏恒 |
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作者单位: | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
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摘 要: | 面向雷达相控阵系统应用,研制了一款X波段四通道发射封装内系统(SiP)模块。SiP模块采用低温共烧陶瓷(LTCC)基板,共28层,设计最小线宽为150μm,且内置埋阻。模块集成了驱动放大器、低噪声放大器(LNA)、幅相多功能等芯片,并将四功分器和交叉带状线网络设计于基板内部,提高了模块的集成度和通道间隔离度,采用内部互连的LTCC基板实现了多种有源器件和无源结构的三维集成。测试结果表明,在工作频率9~10.5 GHz, SiP模块单通道增益≥37 dB,输出功率可达24 dBm,通道间隔离度≥25 dB。SiP模块尺寸仅为20 mm×20 mm×2.65 mm,质量约3.35 g。实现了X波段多通道SiP模块的高性能、高集成度和小型化,可广泛应用于相控阵雷达的T/R组件中。
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关 键 词: | 低温共烧陶瓷(LTCC) X波段 四通道 高集成度 封装内系统(SiP) |
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