| 复合型超精密表面形貌测量仪 |
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| 引用本文： | 王淑珍,谢铁邦,常素萍.复合型超精密表面形貌测量仪[J].光学精密工程,2011,19(4):828-835. |
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| 作者姓名： | 王淑珍 谢铁邦 常素萍 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074;洛阳理工学院机电工程系,河南洛阳471023
2. 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(科学仪器专项基金)资助项目，国家863高技术研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统...
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| 关 键 词： | 超精密测量 表面形貌测量 原子力探针扫描 白光干涉 |
Combined profilometer for ultra-precision surface topography |
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| WANG Shu-zhen,XIE Tie-bang,CHANG Su-ping.Combined profilometer for ultra-precision surface topography[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(4):828-835. |
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| Authors: | WANG Shu-zhen XIE Tie-bang CHANG Su-ping |
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| Affiliation: | 1(1.School of Mechanical Engineering and Science,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China;2.Department of Electrical and Mechanical Engineering,Luoyang Institute of Science and Technology,Luoyang 471023,China) |
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