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| 外部电光测量的空间分辨率 | |
| 引用本文： | 张红波,王瑞,陈开鑫,杨罕,张大明,衣茂斌,王国全,马振昌.外部电光测量的空间分辨率[J].半导体学报,2002,23(7). |
| 作者姓名： | 张红波 王瑞 陈开鑫 杨罕 张大明 衣茂斌 王国全 马振昌 |
| 作者单位： | 1. 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,长春,130023 2. 专用集成电路国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130023 |
| 摘 要： | 报道了用650nm的半导体激光二极管建立的一个正面入射式外部电光测量装置.用〈100〉面镀红光全反射膜的半绝缘GaP作为外部探头,提出以有效调制电压为测量对象,对外部电光测量装置进行了电场空间分辨率的测量.实验结果表明,电场空间分辨率小于1μm,电压灵敏度为12.6mV/ Hz. |
| 关 键 词： | 外部电光测量 电场空间分辨率 半绝缘GaP |
Spatial Resolution in External Electro-Optic Measurement |
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| Keywords: | |
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