|
|||||
|
|
| 双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用 | |
| 作者姓名： | 曹一鸣 王小辉 卫红 |
| 作者单位： | 广州市光机电工程研究开发中心,广东省现代控制与光机电技术公共实验室,广东,广州,510635 |
| 摘 要： | 为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法——双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。 |
| 关 键 词： | 双重监控 光学镀膜 膜厚监控 |
| 文章编号： | 1005-5630(2007)03-0086-04 |
| 收稿时间： | 2006-07-13 |
| 修稿时间： | 2006-07-13 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《光学仪器》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《光学仪器》下载全文 | |