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| SiGe HBT技术进展 | |
| 引用本文： | 刘志农,钱佩信,陈培毅. SiGe HBT技术进展[J]. 微纳电子技术, 2000, 0(6) |
| 作者姓名： | 刘志农 钱佩信 陈培毅 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所!北京100084 |
| 摘 要： | 首先论述了 Si Ge技术的优势、发展历史和应用领域 ,并介绍了 Si Ge工艺和器件的进展 ,最后详细描述了 Si Ge IC的进展 |
| 关 键 词： | SiGeHBT UHV/CVD BiCMOS 无线通信 |
Improvement of SiGe HBT technology |
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| LIU Zhi-nong,QIAN Pei-xin,CHEN Pei-yi. Improvement of SiGe HBT technology[J]. Micronanoelectronic Technology, 2000, 0(6) | |
| Authors: | LIU Zhi-nong QIAN Pei-xin CHEN Pei-yi |
| Abstract: | |
| Keywords: | SiGe HBT UHV/CVD BiCMOS wireless communicati |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |