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基于探针定位的原子力显微镜纳米操作虚拟夹具实现
引用本文:袁帅,刘连庆,王志东,王智宇,侯静.基于探针定位的原子力显微镜纳米操作虚拟夹具实现[J].机械工程学报,2014(13).
作者姓名:袁帅  刘连庆  王志东  王智宇  侯静
作者单位:中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室;沈阳建筑大学信息与控制工程学院;千叶工业大学先进机器人系;
基金项目:国家自然科学基金(61305125,61175103);国家博士后基金(2013M530955);中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目
摘    要:尽管基于原子力显微镜(Atom force microscopy,AFM)的纳米操作在过去10年间取得了极大进展,但依然有两个问题没有得到很好解决:探针的精确定位和稳定性操作。由于压电陶瓷驱动器非线性和温漂的影响,使得探针相对于被操作物体的定位极其困难,从而造成纳米操作任务失败;同时,因为探针仅能对被操作物体施加点式作用力,在操作中经常出现探针滑过被操作物体,或者引起被操作物体的转动、形变等非理想结果,阻碍纳米操作的深入发展。针对上述问题,提出基于概率的虚拟夹具纳米操作方法,其核心思想是在基于路标观测的探针定位基础上,实现基于概率的探针多点并发操作策略—虚拟夹具方法。仿真与试验结果验证该方法可以稳定、长距离的推动纳米颗粒,能够对一维纳米材料(管、线、棒)进行定姿态操作,从而使AFM纳米操作效率得到极大提升。

关 键 词:原子力显微镜  虚拟夹具  纳米操作
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