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| 硅基热流式微流量传感器研究 | |
| 作者姓名： | 席文柱 闫卫平 马灵芝 |
| 作者单位： | 大连理工大学,微电子研究所,大连,辽宁,116023;大连理工大学,微电子研究所,大连,辽宁,116023;大连理工大学,微电子研究所,大连,辽宁,116023;大连理工大学,微电子研究所,大连,辽宁,116023 |
| 摘 要： | 采用微电子技术和微机械加工技术,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器.在恒功率的工作模式下,分析了微流量传感器的特性曲线.实验结果表明,硅基热流式微流量传感器的测量范围在10～800 μL/min之间. |
| 关 键 词： | 微流量传感器 微加热器 温度传感器 微机械电子系统 |
| 文章编号： | 1004-1699(2004)03-0446-03 |
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