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| 玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究 | |
| 引用本文： | 高金海,李桢,张武勤,张兵临.玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究[J].功能材料与器件学报,2013(2):69-72. |
| 作者姓名： | 高金海 李桢 张武勤 张兵临 |
| 作者单位： | 郑州师范学院物理系;郑州大学物理工程学院 材料物理教育部重点实验室 |
| 基金项目： | 教育部科学技术重点资助项目(No.205091);河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目(教高〔2011〕550号) |
| 摘 要： | 本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析。在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光。利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性。通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场?时,最大场发射电流密度达?。并对其发射机理进行了研究。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米管 场致电子发射 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |