|
|||||
|
|
| 一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器 | |
| 引用本文： | 肖刚,谢铁邦,王选择.一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器[J].计量技术,2005(1):7-9. |
| 作者姓名： | 肖刚 谢铁邦 王选择 |
| 作者单位： | 华中科技大学,机械学院仪器系,武汉,430074 |
| 摘 要： | 本文在已有的研究成果基础之上，介绍了一种小型相位光栅干涉式(Phase Grating Interference)微位移传感器，该传感器具有大量程、高分辨力的特点。 |
| 关 键 词： | 相位光栅干涉 微位移传感器 表面形貌 微位移测量 |
A Compact Phase Grating Interference (PGI) Sensor for Micro-displacement |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |