| 多层式金刚石薄膜的制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 阮建锋,夏义本,王林军,刘健敏,蒋丽雯,崔江涛,苏青峰,史伟民.多层式金刚石薄膜的制备工艺研究[J].功能材料与器件学报,2006,12(2):91-94. |
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| 作者姓名： | 阮建锋 夏义本 王林军 刘健敏 蒋丽雯 崔江涛 苏青峰 史伟民 |
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| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院,上海,200072 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目
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上海市应用材料研究与发展基金
,
上海市教委资助项目 |
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| 摘 要： | 利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜.场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求.实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法.
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| 关 键 词： | 纳米金刚石 HFCVD 表面粗糙度 声表面波 |
| 文章编号： | 1007-4252（2006）02-0091-04 |
| 收稿时间： | 2005-06-03 |
| 修稿时间： | 2005-06-032005-07-15 |
Study of multi-layer diamond films for high frequency surface acoustic wave devices |
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| RUAN Jian-feng,XIA Yi-ben,WANG Lin-jun,LIU Jian-min,JIANG Li-wen,CUI Jiang-tao,SU Qing-feng,SHI Wei-min.Study of multi-layer diamond films for high frequency surface acoustic wave devices[J].Journal of Functional Materials and Devices,2006,12(2):91-94. |
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| Authors: | RUAN Jian-feng XIA Yi-ben WANG Lin-jun LIU Jian-min JIANG Li-wen CUI Jiang-tao SU Qing-feng SHI Wei-min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanocrystalline diamond HFCVD surface roughness surface acoustic wave |
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